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設備名
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型式 ‐ 能力
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台数 |
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ロータリー研削盤
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NVG7500DF |
1 |
| ロータリー研削盤 |
NVG1000DF |
3 |
| NC切断機 |
800x1000 |
1 |
| NC切断機 |
400x600 |
1 |
| 自動供給芯取機 |
SAiDA |
7 |
| 手動式芯取機 |
SAiDA |
6 |
| 両面ラップ盤（一次Lap） |
16BF4M |
2 |
| 両面ラップ盤（一次Lap） |
24BFS4M |
1 |
| 両面ラップ盤（二次Lap） |
9BF2M |
1 |
| 両面ラップ盤（二次Lap） |
9BF4M |
1 |
| 両面ラップ盤（二次Lap） |
16BF2M |
2 |
| 両面ラップ盤（二次Lap） |
24BFS4M |
1 |
| 両面ラップ盤（一次Pol） |
9BF4M |
4 |
| 両面ラップ盤（一次Pol） |
SPEEDFAM 5P-IV |
2 |
| 両面ラップ盤（一次Pol） |
16BF2M |
4 |
| 両面ラップ盤（一次Pol） |
16BF4M |
3 |
| 両面ラップ盤（一次Pol） |
24BF4M |
3 |
| 両面ラップ盤（二次Pol） |
9BF4M |
1 |
| 両面ラップ盤（コロイダルシリカ仕様） |
9BF4M |
1 |
| 両面ラップ盤（二次Pol） |
16BN3M |
1 |
| 8槽式精密us洗浄機 |
（純水式） |
1 |
| 純水・超純水装置 |
（3t） |
1 |
| 検査クリーンルーム |
Class1000 |
1 |
| レーザー干渉計 |
F601 （φ80） |
3 |
| レーザー干渉計 |
G102 （φ150） |
2 |
| クリーンベンチ |
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5 |
| 排水処理設備（6m3/hr） |
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1 |
| 脱水処理設備 |
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1 |
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