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主な仕様
面精度測定法
面精度測定波長
平行度
有効径
外観S/D
板厚公差
硝材 |
フジノン干渉計G102&解析装置
632.8nm
0.6〜1.8μm(角度表現は形状別使用参照)
中心から90%以内(標準)⇒カスタマイズ可
10-5,20-10等 ご指定可
±0.1mm(標準)⇒±3μmまで対応可
S-BSL7(ohara)、B270(SCHOTT)
TEMPAX(SCHOTT) 他 |
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丸型形状
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外径寸法
板厚寸法
外径公差
面精度 |
φ8mm〜φ500mm
0.15mm〜45mm(但し外径寸法に因る)
+0/-0.1mm(標準) ⇒ご指定可
λ/10〜5λ(形状別仕様を参照下さい.)
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角型形状 |
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外径寸法
板厚寸法
外径公差
面精度 |
ロ7mm〜ロ350mm (長方型も可)
0.3mm〜45mm(但し外径寸法に因る)
+0/-0.2mm(標準) ⇒ご指定可
λ〜10λ(形状別仕様を参照下さい.)
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特殊形状 |
特殊形状仕様はこちら |
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